一种晶圆托盘的夹取装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122663756.2

申请日：

2021-11-02

公开(公告)号：

CN216054645U

公开(公告)日：

2022-03-15

发明(设计)人：

何飞童启

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

北京众达德权知识产权代理有限公司 11570

代理人：

安磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-15	授权	授权

共 50 条

[41]

一种夹取装置 [P].

何惠祥 .

中国专利 :CN214643043U ,2021-11-09

[42]

一种晶圆缺陷检测用的夹取机构 [P].

洪亚德 ;

陈松岩 ;

潘书万 ;

林中龙 .

中国专利 :CN217544573U ,2022-10-04

[43]

一种油毡的夹取装置 [P].

申露威 ;

盛德洋 ;

陈丽珠 ;

陈卓华 ;

何嘉莉 ;

刘清华 ;

张晓娜 ;

梁曦 ;

钟惠舟 ;

巢猛 .

中国专利 :CN207402766U ,2018-05-25

[44]

一种酵母面包用托盘夹取装置 [P].

黄福阳 .

中国专利 :CN207125673U ,2018-03-23

[45]

一种晶圆夹 [P].

陈秀龙 .

中国专利 :CN201845753U ,2011-05-25

[46]

一种小型晶圆夹爪 [P].

蒋平 ;

刘康 .

中国专利 :CN221352741U ,2024-07-16

[47]

一种晶圆的清洗方法、夹取装置及清洗系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117612931A ,2024-02-27

[48]

一种晶圆和托盘的定位装置 [P].

王荣辉 .

中国专利 :CN223598692U ,2025-11-25

[49]

一种晶圆取放装置 [P].

董和平 ;

焦点 ;

郑自菲 .

中国专利 :CN220984503U ,2024-05-17

[50]

一种晶圆取环装置 [P].

陈超 ;

马林 ;

钱春辉 .

中国专利 :CN221651448U ,2024-09-03

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