一种晶圆缺陷检测用的夹取机构

被引：0

申请号：

CN202220714424.4

申请日：

2022-03-29

公开(公告)号：

CN217544573U

公开(公告)日：

2022-10-04

发明(设计)人：

洪亚德陈松岩潘书万林中龙

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市软件园观日路30号204单元

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677 H01L2166

代理机构：

厦门致群财富专利代理事务所(普通合伙) 35224

代理人：

张文源

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-10-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于晶圆缺陷检测的晶圆连续检测结构 [P].

姚政鹏 .

中国专利 :CN222125129U ,2024-12-06

[2]

一种晶圆夹取机构 [P].

刘孟飞 ;

苏昌全 .

中国专利 :CN223296794U ,2025-09-02

[3]

一种晶圆缺陷检测装置 [P].

史程成 .

中国专利 :CN216978864U ,2022-07-15

[4]

一种晶圆缺陷检测机台 [P].

李云华 ;

黄雷 .

中国专利 :CN214313173U ,2021-09-28

[5]

一种晶圆缺陷检测设备 [P].

郭忠 .

中国专利 :CN221007365U ,2024-05-24

[6]

一种晶圆缺陷检测系统 [P].

郭庆丰 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN223551598U ,2025-11-14

[7]

一种晶圆缺陷检测设备 [P].

吴泽斌 ;

郑兴农 ;

林志阳 .

中国专利 :CN220323467U ,2024-01-09

[8]

一种晶圆缺陷检测装置 [P].

洪亚德 ;

王士奇 ;

赵凌焜 .

中国专利 :CN217059906U ,2022-07-26

[9]

一种晶圆缺陷检测系统和晶圆缺陷检测方法 [P].

陈杰 ;

王冲 ;

陈轮兴 ;

义岚 .

中国专利 :CN120709174A ,2025-09-26

[10]

一种用于晶圆缺陷检测的晶圆辅助限位结构 [P].

姚政鹏 .

中国专利 :CN221911676U ,2024-10-29

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