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一种晶圆缺陷检测装置
被引：0
申请号：
CN202220402127.6
申请日：
2022-02-25
公开(公告)号：
CN216978864U
公开(公告)日：
2022-07-15
发明(设计)人：
史程成
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇康健路6号5号厂房
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
G01N2300
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-15 | 授权 | 授权 |