一种新型晶圆缺陷检测装置

被引：0

申请号：

CN202220757902.X

申请日：

2022-04-01

公开(公告)号：

CN217141292U

公开(公告)日：

2022-08-09

发明(设计)人：

韩志刚陈伟

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市梁溪区广瑞路555号4楼430室

IPC主分类号：

B07C534

IPC分类号：

B07C502 B07C536 B07C538 G01N2195 H01L2167 B25H704

代理机构：

无锡佳信专利代理事务所(普通合伙) 32505

代理人：

李秀琴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型晶圆缺陷检测装置 [P].

韩志刚 ;

陈伟 .

中国专利 :CN114769157B ,2025-07-22

[2]

一种新型晶圆缺陷检测装置 [P].

韩志刚 ;

陈伟 .

中国专利 :CN114769157A ,2022-07-22

[3]

一种晶圆缺陷检测装置 [P].

史程成 .

中国专利 :CN216978864U ,2022-07-15

[4]

一种晶圆缺陷检测装置 [P].

洪亚德 ;

王士奇 ;

赵凌焜 .

中国专利 :CN217059906U ,2022-07-26

[5]

一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法 [P].

阿民 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN121164314A ,2025-12-19

[6]

一种晶圆缺陷检测机台 [P].

李云华 ;

黄雷 .

中国专利 :CN214313173U ,2021-09-28

[7]

一种晶圆缺陷检测设备 [P].

郭忠 .

中国专利 :CN221007365U ,2024-05-24

[8]

一种晶圆缺陷检测系统 [P].

郭庆丰 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN223551598U ,2025-11-14

[9]

一种晶圆缺陷检测设备 [P].

吴泽斌 ;

郑兴农 ;

林志阳 .

中国专利 :CN220323467U ,2024-01-09

[10]

一种用于晶圆缺陷检测的晶圆连续检测结构 [P].

姚政鹏 .

中国专利 :CN222125129U ,2024-12-06

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