一种用于晶圆缺陷检测的晶圆连续检测结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420623703.9

申请日：

2024-03-28

公开(公告)号：

CN222125129U

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

姚政鹏

申请人：

浙江昕微电子科技有限公司

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道文种路7号1号楼1层104厂房

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/01 G01N21/13 G01V8/10

代理机构：

深圳市共赋知识产权代理事务所(普通合伙) 44897

代理人：

戴满涛

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省绍兴市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于晶圆缺陷检测的晶圆辅助限位结构 [P].

姚政鹏 .

中国专利 :CN221911676U ,2024-10-29

[2]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[3]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[4]

一种晶圆缺陷检测系统和晶圆缺陷检测方法 [P].

陈杰 ;

王冲 ;

陈轮兴 ;

义岚 .

中国专利 :CN120709174A ,2025-09-26

[5]

一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法 [P].

阿民 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN121164314A ,2025-12-19

[6]

晶圆缺陷检测光源、设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

夏正浩 ;

张康 ;

林威 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN119715566A ,2025-03-28

[7]

晶圆缺陷检测设备 [P].

叶莹 ;

毕迪 .

中国专利 :CN111553897A ,2020-08-18

[8]

晶圆缺陷检测设备 [P].

叶莹 .

中国专利 :CN112201596B ,2024-11-05

[9]

晶圆缺陷检测设备 [P].

叶莹 .

中国专利 :CN112466787B ,2025-03-14

[10]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475A ,2022-12-13

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