一种花篮硅片顶升机构

被引：0

申请号：

CN202122809429.3

申请日：

2021-11-16

公开(公告)号：

CN216671586U

公开(公告)日：

2022-06-03

发明(设计)人：

林佳继周欢时祥

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283

代理人：

董世博

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-03	授权	授权

共 50 条

[41]

一种气缸顶升机构 [P].

马俊波 .

中国专利 :CN222312629U ,2025-01-07

[42]

一种气动顶升机构 [P].

许建民 .

中国专利 :CN204802614U ,2015-11-25

[43]

一种AGV顶升机构 [P].

韩勇 ;

邹佳峻 .

中国专利 :CN209522525U ,2019-10-22

[44]

一种顶升定位机构 [P].

吕绍林 ;

马金勇 ;

孙卫东 ;

赵永存 ;

董良 ;

吴金锁 ;

屈文武 ;

贺常乐 ;

戚建儒 .

中国专利 :CN204324371U ,2015-05-13

[45]

一种顶升吸附机构 [P].

陈晓峰 .

中国专利 :CN214917748U ,2021-11-30

[46]

一种顶升下药机构 [P].

周翔 ;

周巧敏 .

中国专利 :CN205168946U ,2016-04-20

[47]

一种物料顶升机构 [P].

杨艳 ;

沈鹭 ;

谷春光 ;

刘国强 .

中国专利 :CN217498585U ,2022-09-27

[48]

一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构 [P].

潘加永 ;

戴秋喜 .

中国专利 :CN208385434U ,2019-01-15

[49]

一种花篮提升机构 [P].

翁学飞 ;

高兴智 .

中国专利 :CN221486479U ,2024-08-06

[50]

一种花篮翻转传输机构 [P].

黄庆 .

中国专利 :CN222960652U ,2025-06-10

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