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薄膜压电元件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN01813370.3
申请日：
2001-07-23
公开(公告)号：
CN100347872C
公开(公告)日：
2003-09-24
发明(设计)人：
神野伊策
原慎太郎
中野貴德
申请人：
申请人地址：
日本国大阪府门真市
IPC主分类号：
H01L4108
IPC分类号：
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司
代理人：
张政权
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-10 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 41/08 申请日:20010723 授权公告日:20071107 |
| 2003-09-24 | 公开 | 公开 |
| 2007-11-07 | 授权 | 授权 |
| 2003-12-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |