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一种硅基氮化镓外延结构及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911162232.6
申请日：
2019-11-25
公开(公告)号：
CN110838539A
公开(公告)日：
2020-02-25
发明(设计)人：
仇美懿
庄家铭
申请人：
申请人地址：
528200 广东省佛山市南海区狮山镇罗村朗沙广东新光源产业基地内光明大道18号
IPC主分类号：
H01L3312
IPC分类号：
H01L3332
H01L3300
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
胡枫;李素兰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-25 | 公开 | 公开 |
| 2020-03-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/12 申请日:20191125 |