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半导体结构及其形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010277075.X
申请日：
2020-04-10
公开(公告)号：
CN113517184A
公开(公告)日：
2021-10-19
发明(设计)人：
蔡巧明
马丽莎
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢
IPC主分类号：
H01L2128
IPC分类号：
H01L29423
H01L2906
H01L21336
代理机构：
北京市一法律师事务所 11654
代理人：
刘荣娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20200410 |
| 2021-10-19 | 公开 | 公开 |