等离子体处理装置以及等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080004645.6

申请日：

2020-03-11

公开(公告)号：

CN113646874A

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

江藤宗一郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴秋明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	公开	公开
2021-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20200311

共 50 条

[1]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

森本未知数 ;

大越康雄 ;

大平原勇造 ;

小野哲郎 .

中国专利 :CN103632914A ,2014-03-12

[2]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

安藤阳二 ;

小野哲郎 ;

臼井建人 .

中国专利 :CN103811249B ,2014-05-21

[3]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

饭岛悦夫 ;

土屋浩 .

中国专利 :CN1228820C ,2004-03-10

[4]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

川上雅敏 ;

田中基裕 ;

园田靖 ;

佐藤浩平 ;

安井尚辉 .

中国专利 :CN108630513A ,2018-10-09

[5]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

奥村智洋 ;

川浦广 .

中国专利 :CN104641730A ,2015-05-20

[6]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[7]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

武藤悟 ;

小野哲郎 ;

大越康雄 ;

永德宏文 .

中国专利 :CN104103486B ,2014-10-15

[8]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1477682A ,2004-02-25

[9]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

久保田绅治 .

中国专利 :CN107452589B ,2017-12-08

[10]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

舟久保隆男 ;

芳贺博文 ;

狐塚慎一 ;

小澤亘 ;

坂本晃浩 ;

谷口直树 ;

辻本宏 ;

大野久美子 .

中国专利 :CN105225913B ,2016-01-06

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