一种PAD平坦度检测设备及其检测方法

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申请号
CN202210506845.2
申请日
2022-05-11
公开(公告)号
CN114602830A
公开(公告)日
2022-06-10
发明(设计)人
秦应化 刘传磊 刘杰杰 张聪
申请人
申请人地址
215024 江苏省苏州市工业园区葑亭大道598号1号楼东侧
IPC主分类号
B07C534
IPC分类号
B07C502 B07C536 B07C538
代理机构
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251
代理人
陆金星
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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