平坦度检测方法、平坦度检测装置及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910221411.6

申请日：

2019-03-22

公开(公告)号：

CN110487189B

公开(公告)日：

2019-11-22

发明(设计)人：

森田淳司玄马大地

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01B1124 G01B1126 G01B1130 G06T700

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

韩香花;崔成哲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-22	公开	公开
2021-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20190322
2022-11-22	授权	授权

共 50 条

[1]

平坦度检测装置 [P].

高晋生 ;

王阳 ;

宋超 ;

秦海峰 ;

张君 ;

胡芳 .

中国专利 :CN220356331U ,2024-01-16

[2]

平坦度检测装置及方法 [P].

车翰宣 ;

金钟洙 ;

董思远 .

中国专利 :CN117760341A ,2024-03-26

[3]

路面平坦度检测方法及装置 [P].

蒋昌龙 .

中国专利 :CN105222729A ,2016-01-06

[4]

基材平坦度的检测方法 [P].

徐金旺 ;

林文宜 .

中国专利 :CN113670235A ,2021-11-19

[5]

晶圆平坦度检测装置 [P].

赵祥成 .

中国专利 :CN217384210U ,2022-09-06

[6]

液晶玻璃基板研磨盘平坦度辅助检测装置及检测方法 [P].

程秀文 ;

张小虎 .

中国专利 :CN113701674A ,2021-11-26

[7]

一种PAD平坦度检测设备及其检测方法 [P].

秦应化 ;

刘传磊 ;

刘杰杰 ;

张聪 .

中国专利 :CN114602830A ,2022-06-10

[8]

显示面板卡盘平坦度检测装置 [P].

朴柄奎 .

中国专利 :CN214702204U ,2021-11-12

[9]

路面平坦度区域检测方法和系统 [P].

陈思宇 ;

苏文秀 .

中国专利 :CN113793330B ,2021-12-14

[10]

活套辊式平坦度检测装置 [P].

李谋谓 ;

边新孝 ;

陈工 ;

王向丽 ;

张少军 .

中国专利 :CN201034548Y ,2008-03-12

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