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基材平坦度的检测方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110961573.0
申请日：
2021-08-20
公开(公告)号：
CN113670235A
公开(公告)日：
2021-11-19
发明(设计)人：
徐金旺 林文宜
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹县湖口乡光复北路20-1号
IPC主分类号：
G01B1130
IPC分类号：
C23C1404 C23C1424
代理机构：
北京市立康律师事务所 11805
代理人：
梁挥;孟超
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-12-07 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/30 申请日:20210820
2021-11-19 公开 公开
共 50 条
[1]
平坦度检测方法、平坦度检测装置及存储介质 [P]. 
森田淳司 ;
玄马大地 .
中国专利 :CN110487189B ,2019-11-22
[2]
路面平坦度检测方法及装置 [P]. 
蒋昌龙 .
中国专利 :CN105222729A ,2016-01-06
[3]
路面平坦度区域检测方法和系统 [P]. 
陈思宇 ;
苏文秀 .
中国专利 :CN113793330B ,2021-12-14
[4]
一种PAD平坦度检测设备及其检测方法 [P]. 
秦应化 ;
刘传磊 ;
刘杰杰 ;
张聪 .
中国专利 :CN114602830A ,2022-06-10
[5]
用于PVD镀膜的基材表面清洁度检测方法和装置 [P]. 
王小锋 ;
李金平 ;
吴小辉 .
中国专利 :CN119648690B ,2025-05-09
[6]
用于PVD镀膜的基材表面清洁度检测方法和装置 [P]. 
王小锋 ;
李金平 ;
吴小辉 .
中国专利 :CN119648690A ,2025-03-18
[7]
一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法 [P]. 
郭光龙 ;
杜勇 ;
徐华伟 ;
沈洵 .
中国专利 :CN115558928B ,2024-10-22
[8]
一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法 [P]. 
郭光龙 ;
杜勇 ;
徐华伟 ;
沈洵 .
中国专利 :CN115558928A ,2023-01-03
[9]
液晶玻璃基板研磨盘平坦度辅助检测装置及检测方法 [P]. 
程秀文 ;
张小虎 .
中国专利 :CN113701674A ,2021-11-26
[10]
玻璃平坦区的缺陷检测方法 [P]. 
都卫东 ;
王岩松 ;
和江镇 ;
吴健雄 ;
赵梦逸 ;
夏子涛 .
中国专利 :CN111462080A ,2020-07-28
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