共 50 条
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晶圆平坦度检测装置
被引：0
申请号：
CN202220827539.4
申请日：
2022-04-11
公开(公告)号：
CN217384210U
公开(公告)日：
2022-09-06
发明(设计)人：
赵祥成
申请人：
申请人地址：
221000 江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
IPC主分类号：
G01B2130
IPC分类号：
B01D4610
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-06 | 授权 | 授权 |