阻尼手指的调整方法及装置、晶圆平坦度检测装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510863146.7

申请日：

2025-06-25

公开(公告)号：

CN120701698A

公开(公告)日：

2025-09-26

发明(设计)人：

李宇卓

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

F16F15/00

IPC分类号：

H01L21/66 F16F15/02 G01B21/30 G01B11/30

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

金鲜英

法律状态：

公开

国省代码：

吉林省辽源市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-26	公开	公开
2025-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):F16F 15/00申请日:20250625

共 50 条

[1]

晶圆平坦度检测装置 [P].

赵祥成 .

中国专利 :CN217384210U ,2022-09-06

[2]

平坦度检测方法、平坦度检测装置及存储介质 [P].

森田淳司 ;

玄马大地 .

中国专利 :CN110487189B ,2019-11-22

[3]

晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 [P].

苏旭文 ;

戎淇舰 ;

吕天爽 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120933184A ,2025-11-11

[4]

路面平坦度检测方法及装置 [P].

蒋昌龙 .

中国专利 :CN105222729A ,2016-01-06

[5]

平坦度检测装置及方法 [P].

车翰宣 ;

金钟洙 ;

董思远 .

中国专利 :CN117760341A ,2024-03-26

[6]

晶圆位置调整方法及检测装置 [P].

朱常兴 ;

齐孟宗 ;

蒋健君 ;

王志康 ;

赵文斌 .

中国专利 :CN119092430A ,2024-12-06

[7]

晶圆检测装置及检测方法 [P].

李向东 ;

骆聪 ;

朱怡 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN115372375A ,2022-11-22

[8]

晶圆翘曲度检测装置及方法 [P].

许有超 ;

谭秀文 ;

苏亚青 .

中国专利 :CN112050719A ,2020-12-08

[9]

晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置 [P].

杨森元 ;

李宁宁 ;

邓博雅 ;

吕维迪 ;

赵佳强 ;

王晓尉 ;

王二朋 ;

于佳豪 .

中国专利 :CN117537776A ,2024-02-09

[10]

晶圆偏移的检测装置及检测方法 [P].

栾经纬 .

中国专利 :CN119694938B ,2025-10-03

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