修整组件和化学机械研磨设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821778348.3

申请日：

2018-10-30

公开(公告)号：

CN209125611U

公开(公告)日：

2019-07-19

发明(设计)人：

韩斌辛君林宗贤吴龙江

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

B24B5500

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;董琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-19	授权	授权

共 50 条

[1]

修整组件和化学机械研磨设备 [P].

徐剑波 ;

陆从喜 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208841188U ,2019-05-10

[2]

修整组件和化学机械研磨设备 [P].

汪康 ;

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209125612U ,2019-07-19

[3]

研磨头组件和化学机械研磨设备 [P].

陆从喜 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208841173U ,2019-05-10

[4]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222114716U ,2024-12-06

[5]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222269909U ,2024-12-31

[6]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

顾浩 ;

杨俊男 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN222806793U ,2025-04-29

[7]

化学机械研磨修整器 [P].

叶文挺 ;

宋健民 .

中国专利 :CN202952159U ,2013-05-29

[8]

化学机械研磨修整器 [P].

宋健民 ;

叶文挺 .

中国专利 :CN203380772U ,2014-01-08

[9]

化学机械研磨修整器 [P].

宋健民 ;

叶文挺 .

中国专利 :CN203390712U ,2014-01-15

[10]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

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