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基板支承体及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980057784.2
申请日：
2019-09-03
公开(公告)号：
CN112640060A
公开(公告)日：
2021-04-09
发明(设计)人：
永山晃
佐佐木康晴
富冈武敏
山口伸
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L213065
IPC分类号：
H01L21683
H02N1300
H05H146
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
吕琳;朴秀玉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-09 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20190903 |