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一种用于检测晶圆切割环粗糙度的检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023155590.5
申请日：
2020-12-24
公开(公告)号：
CN213688301U
公开(公告)日：
2021-07-13
发明(设计)人：
蒋松杰
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区春晖路11号3号楼101室
IPC主分类号：
G01B2130
IPC分类号：
代理机构：
温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙) 33262
代理人：
汤时达
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-13 | 授权 | 授权 |