晶圆键合方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811202952.6

申请日：

2018-10-16

公开(公告)号：

CN109449172A

公开(公告)日：

2019-03-08

发明(设计)人：

陈翔鲁旭斋张锋吴孝哲吴龙江林宗贤

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L27146

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

武振华;吴敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/146 申请日:20181016
2021-02-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 27/146 申请公布日:20190308
2019-03-08	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆键合方法 [P].

陈翔 ;

雷喜凡 ;

张锋 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN109346495A ,2019-02-15

[2]

晶圆键合方法 [P].

许超 ;

杨昱霖 ;

沈娅 ;

陈月月 .

中国专利 :CN120954967A ,2025-11-14

[3]

晶圆键合方法及晶圆键合装置 [P].

刘武 ;

冯皓 ;

袁绅豪 .

中国专利 :CN114121687A ,2022-03-01

[4]

晶圆键合装置及晶圆键合方法 [P].

邢瑞远 ;

丁滔滔 ;

王家文 ;

刘武 ;

刘孟勇 ;

陈国良 .

中国专利 :CN109585346B ,2019-04-05

[5]

晶圆键合装置及晶圆键合方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119673815A ,2025-03-21

[6]

晶圆对位键合装置及晶圆键合方法 [P].

田雨秋 ;

高智伟 ;

母凤文 ;

谭向虎 ;

刘福超 .

中国专利 :CN119297094A ,2025-01-10

[7]

晶圆键合对位机构及晶圆键合方法 [P].

王敕 ;

卜佳俊 ;

米野 ;

马欢 .

中国专利 :CN119694962A ,2025-03-25

[8]

晶圆翻转键合机构及晶圆键合方法 [P].

王胜迎 ;

高智伟 ;

母凤文 ;

谭向虎 ;

刘福超 .

中国专利 :CN119297095A ,2025-01-10

[9]

晶圆键合方法及键合晶圆 [P].

王超 ;

刘婧 ;

黄驰 .

中国专利 :CN112614807A ,2021-04-06

[10]

晶圆键合方法以及键合晶圆 [P].

闵源 ;

王淞山 ;

许力恒 ;

赵强 .

中国专利 :CN109545672A ,2019-03-29

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