晶片调度方法及装置、半导体处理设备、存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910404029.9

申请日：

2019-05-15

公开(公告)号：

CN111952211A

公开(公告)日：

2020-11-17

发明(设计)人：

梁小祎

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190515
2020-11-17	公开	公开

共 50 条

[1]

生产调度方法及装置、半导体处理设备、存储介质 [P].

纪红 ;

史小平 ;

兰云峰 ;

雷花 ;

赵雷超 ;

秦海丰 ;

张文强 .

中国专利 :CN110895733B ,2020-03-20

[2]

半导体处理设备的使用方法、半导体处理设备、及存储介质 [P].

陈鲁 ;

王彦彦 ;

张朝前 ;

马砚忠 ;

卢继奎 ;

张嵩 .

中国专利 :CN112967953A ,2021-06-15

[3]

识别方法、识别装置、半导体处理设备及可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

佟异 ;

肖遥 ;

张嵩 .

中国专利 :CN113421239B ,2024-09-10

[4]

识别方法、识别装置、半导体处理设备及可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

佟异 ;

肖遥 ;

张嵩 .

中国专利 :CN113421239A ,2021-09-21

[5]

调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质 [P].

杨光 ;

韦伟 ;

雷林飞 ;

张璐 ;

付金生 ;

孙岩 ;

杨洋 ;

董扬平 ;

贾钒 ;

刘鼎 ;

陈玉峰 .

中国专利 :CN120704252A ,2025-09-26

[6]

半导体设备调度方法、装置、设备及存储介质 [P].

周利红 ;

傅慧初 ;

宋泰然 ;

李倓 ;

安书墨 ;

张羽霏 .

中国专利 :CN120256074A ,2025-07-04

[7]

半导体处理设备的清洁处理方法、可读存储介质及半导体处理设备 [P].

杨啸 ;

应成业 ;

陈佳 ;

王海平 .

中国专利 :CN120221362A ,2025-06-27

[8]

调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质 [P].

李杰 ;

张璐 ;

雷林飞 ;

杨光 .

中国专利 :CN119987295A ,2025-05-13

[9]

调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质 [P].

李杰 ;

张璐 ;

雷林飞 ;

杨光 .

中国专利 :CN120033104B ,2025-12-12

[10]

调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质 [P].

李杰 ;

张璐 ;

雷林飞 ;

杨光 .

中国专利 :CN120033104A ,2025-05-23

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