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半导体处理设备的使用方法、半导体处理设备、及存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110151133.9
申请日：
2021-02-03
公开(公告)号：
CN112967953A
公开(公告)日：
2021-06-15
发明(设计)人：
陈鲁
王彦彦
张朝前
马砚忠
卢继奎
张嵩
申请人：
申请人地址：
518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人：
邵泳城
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210203 |
| 2021-06-15 | 公开 | 公开 |