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半导体处理设备的控制方法和半导体处理设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510258413.8
申请日：
2025-03-06
公开(公告)号：
CN119764224B
公开(公告)日：
2025-05-02
发明(设计)人：
王明辉 邢志刚 徐春阳 刘雷
申请人：
蓝河科技（绍兴）有限公司
申请人地址：
311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
上海华霆知识产权代理事务所(普通合伙) 31576
代理人：
王宁萍
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-02 授权 授权
2025-04-04 公开 公开
2025-04-22 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250306
共 50 条
[1]
半导体处理设备的控制方法和半导体处理设备 [P]. 
王明辉 ;
邢志刚 ;
徐春阳 ;
刘雷 .
中国专利 :CN119764224A ,2025-04-04
[2]
半导体设备的控制方法和半导体设备 [P]. 
徐昕 ;
王兆祥 ;
桂智谦 ;
涂乐义 ;
梁洁 ;
仲凯 ;
方子豪 ;
曹天俊 ;
谭小龙 .
中国专利 :CN120184064A ,2025-06-20
[3]
半导体设备的控制方法和半导体设备 [P]. 
徐昕 ;
王兆祥 ;
桂智谦 ;
涂乐义 ;
梁洁 ;
仲凯 ;
方子豪 ;
曹天俊 ;
谭小龙 .
中国专利 :CN120184064B ,2025-07-18
[4]
半导体设备处理方法及半导体处理设备 [P]. 
付海涛 ;
庄宇峰 ;
吕术亮 ;
李远 ;
董维 ;
谢忠帅 ;
徐立 .
中国专利 :CN120231030A ,2025-07-01
[5]
半导体处理设备以及用于监测和控制半导体处理设备的方法 [P]. 
M·韦格赫瑟 ;
T·邓恩 ;
J·K·舒格鲁 .
:CN110246777B ,2024-03-01
[6]
半导体处理设备以及用于监测和控制半导体处理设备的方法 [P]. 
M·韦格赫瑟 ;
T·邓恩 ;
J·K·舒格鲁 .
中国专利 :CN110246777A ,2019-09-17
[7]
半导体处理设备及半导体处理方法 [P]. 
胡耿涛 ;
林生财 .
中国专利 :CN119208210A ,2024-12-27
[8]
半导体处理设备及半导体处理方法 [P]. 
张丝柳 ;
顾立勋 .
中国专利 :CN110491805A ,2019-11-22
[9]
半导体处理设备及半导体处理方法 [P]. 
胡耿涛 ;
林生财 .
中国专利 :CN119208210B ,2025-10-17
[10]
半导体处理用基座和半导体处理设备 [P]. 
王文 ;
彭海 .
中国专利 :CN117821920A ,2024-04-05
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