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半导体处理用基座和半导体处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311871300.2
申请日：
2023-12-31
公开(公告)号：
CN117821920A
公开(公告)日：
2024-04-05
发明(设计)人：
王文
彭海
申请人：
楚赟精工科技（上海）有限公司
申请人地址：
201210 上海市浦东新区张江路665号三层
IPC主分类号：
C23C14/50
IPC分类号：
C23C16/458
C23C16/44
C23C14/56
C23C14/54
C23C16/46
H01L21/687
H01L21/67
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
黄海霞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20231231 |
| 2024-04-05 | 公开 | 公开 |