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半导体处理用支架装置和半导体处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311873765.1
申请日：
2023-12-31
公开(公告)号：
CN117832156A
公开(公告)日：
2024-04-05
发明(设计)人：
王文
彭海
周慧娟
申请人：
楚赟科技（绍兴）有限公司
申请人地址：
311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
C23C16/458
C23C16/44
C23C16/56
C23C14/50
C23C14/58
C23C14/56
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
黄海霞
法律状态：
著录事项变更
国省代码：
浙江省
绍兴市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-28 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):H01L 21/687变更事项:申请人变更前:楚赟科技（绍兴）有限公司变更后:蓝河科技（绍兴）有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼变更后:311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼 |
| 2024-04-05 | 公开 | 公开 |
| 2024-04-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20231231 |