半导体处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022593055.1

申请日：

2020-11-10

公开(公告)号：

CN213583703U

公开(公告)日：

2021-06-29

发明(设计)人：

张龙黄有为陈鲁

申请人：

申请人地址：

518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01N2113 G01N2184

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

邵泳城

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-29	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体处理设备及半导体处理方法 [P].

张丝柳 ;

顾立勋 .

中国专利 :CN110491805A ,2019-11-22

[2]

半导体处理设备 [P].

温子瑛 ;

王博洋 ;

孙富成 ;

王吉 ;

温欣 ;

樊裕斌 ;

沈爱华 ;

丁维维 .

中国专利 :CN216902814U ,2022-07-05

[3]

半导体处理设备 [P].

张龙 ;

黄有为 ;

陈鲁 ;

张嵩 .

中国专利 :CN213936127U ,2021-08-10

[4]

一种半导体处理设备 [P].

黎佐兴 ;

黄承语 ;

庞才伟 ;

张晓军 .

中国专利 :CN118712120A ,2024-09-27

[5]

半导体废气处理设备 [P].

张昱翀 ;

石天宇 .

中国专利 :CN221015344U ,2024-05-28

[6]

半导体设备处理方法及半导体处理设备 [P].

付海涛 ;

庄宇峰 ;

吕术亮 ;

李远 ;

董维 ;

谢忠帅 ;

徐立 .

中国专利 :CN120231030A ,2025-07-01

[7]

半导体处理设备及半导体处理方法 [P].

胡耿涛 ;

林生财 .

中国专利 :CN119208210A ,2024-12-27

[8]

半导体处理设备及半导体处理方法 [P].

胡耿涛 ;

林生财 .

中国专利 :CN119208210B ,2025-10-17

[9]

半导体处理设备 [P].

马彦圣 ;

温子瑛 .

中国专利 :CN103187240B ,2013-07-03

[10]

半导体处理设备 [P].

闫宝杰 ;

王玉明 ;

陈晖 ;

曾俞衡 ;

廖明墩 ;

叶继春 ;

程海良 ;

柯贤洋 .

中国专利 :CN114121586A ,2022-03-01

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