半导体处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110451921.6

申请日：

2011-12-30

公开(公告)号：

CN103187240B

公开(公告)日：

2013-07-03

发明(设计)人：

马彦圣温子瑛

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市新区震泽路18号鲸鱼座A栋1楼

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

B08B304

代理机构：

无锡互维知识产权代理有限公司 32236

代理人：

王爱伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	授权	授权
2013-07-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101499122304 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2011104519216 申请日:20111230
2013-07-03	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体处理设备 [P].

马彦圣 ;

温子瑛 .

中国专利 :CN202423231U ,2012-09-05

[2]

半导体设备处理方法及半导体处理设备 [P].

付海涛 ;

庄宇峰 ;

吕术亮 ;

李远 ;

董维 ;

谢忠帅 ;

徐立 .

中国专利 :CN120231030A ,2025-07-01

[3]

半导体处理设备及半导体处理方法 [P].

胡耿涛 ;

林生财 .

中国专利 :CN119208210A ,2024-12-27

[4]

半导体处理设备及半导体处理方法 [P].

张丝柳 ;

顾立勋 .

中国专利 :CN110491805A ,2019-11-22

[5]

半导体处理设备及半导体处理方法 [P].

胡耿涛 ;

林生财 .

中国专利 :CN119208210B ,2025-10-17

[6]

半导体处理设备 [P].

温子瑛 ;

王博洋 ;

孙富成 ;

王吉 ;

温欣 ;

樊裕斌 ;

沈爱华 ;

丁维维 .

中国专利 :CN216902814U ,2022-07-05

[7]

半导体处理设备 [P].

张龙 ;

黄有为 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN213583703U ,2021-06-29

[8]

半导体处理设备 [P].

张龙 ;

黄有为 ;

陈鲁 ;

张嵩 .

中国专利 :CN213936127U ,2021-08-10

[9]

半导体处理设备 [P].

闫宝杰 ;

王玉明 ;

陈晖 ;

曾俞衡 ;

廖明墩 ;

叶继春 ;

程海良 ;

柯贤洋 .

中国专利 :CN114121586A ,2022-03-01

[10]

半导体处理设备 [P].

权纯九 ;

南佑陈 ;

姜姓佶 ;

朴成龙 ;

方政民 ;

吴世真 ;

李永光 .

韩国专利 :CN120300020A ,2025-07-11

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