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半导体处理设备
被引:0
申请号
:
CN202123350033.3
申请日
:
2021-12-28
公开(公告)号
:
CN216902814U
公开(公告)日
:
2022-07-05
发明(设计)人
:
温子瑛
王博洋
孙富成
王吉
温欣
樊裕斌
沈爱华
丁维维
申请人
:
申请人地址
:
214000 江苏省无锡市新区震泽路18号国家软件园3期鲸鱼座A栋1楼
IPC主分类号
:
H01L2167
IPC分类号
:
代理机构
:
苏州简理知识产权代理有限公司 32371
代理人
:
庞聪雅
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-07-05
授权
授权
共 50 条
[1]
半导体废气处理设备
[P].
张昱翀
论文数:
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机构:
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
张昱翀
;
石天宇
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机构:
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
石天宇
.
中国专利
:CN221015344U
,2024-05-28
[2]
半导体处理设备及半导体处理方法
[P].
张丝柳
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张丝柳
;
顾立勋
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顾立勋
.
中国专利
:CN110491805A
,2019-11-22
[3]
半导体处理设备
[P].
张龙
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张龙
;
黄有为
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黄有为
;
陈鲁
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陈鲁
.
中国专利
:CN213583703U
,2021-06-29
[4]
半导体处理设备
[P].
张龙
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张龙
;
黄有为
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黄有为
;
陈鲁
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陈鲁
;
张嵩
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张嵩
.
中国专利
:CN213936127U
,2021-08-10
[5]
半导体处理设备
[P].
李国强
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李国强
;
林宗贤
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林宗贤
;
吴孝哲
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吴孝哲
.
中国专利
:CN208444815U
,2019-01-29
[6]
半导体处理设备
[P].
李天涯
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李天涯
;
周冬成
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周冬成
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吴宗祐
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吴宗祐
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN208753275U
,2019-04-16
[7]
半导体处理设备
[P].
王昕昀
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王昕昀
;
吴孝哲
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吴孝哲
;
胡广严
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胡广严
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吴龙江
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吴龙江
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN208853380U
,2019-05-14
[8]
半导体处理设备
[P].
闫宝杰
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闫宝杰
;
王玉明
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王玉明
;
陈晖
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陈晖
;
曾俞衡
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曾俞衡
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廖明墩
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廖明墩
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叶继春
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叶继春
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程海良
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程海良
;
柯贤洋
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柯贤洋
.
中国专利
:CN212365921U
,2021-01-15
[9]
半导体处理设备
[P].
李国强
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李国强
;
林宗贤
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林宗贤
;
吴孝哲
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吴孝哲
.
中国专利
:CN208674079U
,2019-03-29
[10]
半导体处理设备
[P].
马彦圣
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马彦圣
;
温子瑛
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温子瑛
.
中国专利
:CN202423231U
,2012-09-05
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