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半导体处理设备以及用于监测和控制半导体处理设备的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910155754.7
申请日：
2019-03-01
公开(公告)号：
CN110246777B
公开(公告)日：
2024-03-01
发明(设计)人：
M·韦格赫瑟
T·邓恩
J·K·舒格鲁
申请人：
ASMIP控股有限公司
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王冉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 授权 | 授权 |