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用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411649606.8
申请日：
2024-11-19
公开(公告)号：
CN119168328B
公开(公告)日：
2025-05-13
发明(设计)人：
陆柏耆 王逸帆 齐明 王传道
申请人：
研微（江苏）半导体科技有限公司
申请人地址：
214100 江苏省无锡市无锡经济开发区太湖街道震泽路688号太湖湾信息技术产业园1号楼2201-01
IPC主分类号：
G06Q10/0631
IPC分类号：
G06Q10/04 G06Q50/04
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
杜娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-01-07 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G06Q 10/0631申请日:20241119
2024-12-20 公开 公开
2025-05-13 授权 授权
共 50 条
[1]
用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备 [P]. 
陆柏耆 ;
王逸帆 ;
齐明 ;
王传道 .
中国专利 :CN119168328A ,2024-12-20
[2]
半导体处理设备的控制方法和半导体处理设备 [P]. 
王明辉 ;
邢志刚 ;
徐春阳 ;
刘雷 .
中国专利 :CN119764224A ,2025-04-04
[3]
半导体处理设备的控制方法和半导体处理设备 [P]. 
王明辉 ;
邢志刚 ;
徐春阳 ;
刘雷 .
中国专利 :CN119764224B ,2025-05-02
[4]
用于处理半导体晶片的半导体处理设备 [P]. 
J·H·张 .
中国专利 :CN203503622U ,2014-03-26
[5]
半导体设备处理方法及半导体处理设备 [P]. 
付海涛 ;
庄宇峰 ;
吕术亮 ;
李远 ;
董维 ;
谢忠帅 ;
徐立 .
中国专利 :CN120231030A ,2025-07-01
[6]
半导体处理设备以及用于校准半导体处理设备的方法 [P]. 
S·拉贾贝鲁 ;
J·托尔 ;
R·麦克卡特尼 .
中国专利 :CN109103125A ,2018-12-28
[7]
半导体处理设备以及用于校准半导体处理设备的方法 [P]. 
S·拉贾贝鲁 ;
J·托尔 ;
R·麦克卡特尼 .
:CN109103125B ,2024-04-02
[8]
半导体处理设备及半导体处理方法 [P]. 
胡耿涛 ;
林生财 .
中国专利 :CN119208210A ,2024-12-27
[9]
半导体处理设备及半导体处理方法 [P]. 
张丝柳 ;
顾立勋 .
中国专利 :CN110491805A ,2019-11-22
[10]
半导体处理设备及半导体处理方法 [P]. 
胡耿涛 ;
林生财 .
中国专利 :CN119208210B ,2025-10-17
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