生产调度方法及装置、半导体处理设备、存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811063050.9

申请日：

2018-09-12

公开(公告)号：

CN110895733B

公开(公告)日：

2020-03-20

发明(设计)人：

纪红史小平兰云峰雷花赵雷超秦海丰张文强

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

G06Q1006

IPC分类号：

G06Q5004

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q 10/06 申请日:20180912
2021-04-09	授权	授权
2020-03-20	公开	公开

共 50 条

[1]

晶片调度方法及装置、半导体处理设备、存储介质 [P].

梁小祎 .

中国专利 :CN111952211A ,2020-11-17

[2]

半导体的生产调度方法、装置、设备及存储介质 [P].

陈保安 ;

李琛 ;

李立人 ;

田畔 ;

孙红霞 .

中国专利 :CN120235440A ,2025-07-01

[3]

半导体设备调度方法、装置、设备及存储介质 [P].

周利红 ;

傅慧初 ;

宋泰然 ;

李倓 ;

安书墨 ;

张羽霏 .

中国专利 :CN120256074A ,2025-07-04

[4]

半导体处理设备的使用方法、半导体处理设备、及存储介质 [P].

陈鲁 ;

王彦彦 ;

张朝前 ;

马砚忠 ;

卢继奎 ;

张嵩 .

中国专利 :CN112967953A ,2021-06-15

[5]

半导体处理设备的清洁处理方法、可读存储介质及半导体处理设备 [P].

杨啸 ;

应成业 ;

陈佳 ;

王海平 .

中国专利 :CN120221362A ,2025-06-27

[6]

半导体清洗设备调度方法、系统、装置及存储介质 [P].

朱东和 ;

李杰 ;

刘斌 ;

郭宇翔 ;

傅慧初 ;

扶庆 .

中国专利 :CN114864456A ,2022-08-05

[7]

半导体结构的形成方法、可读存储介质及半导体处理设备 [P].

饶建成 ;

石小兵 ;

黄振华 ;

陈超 ;

邓璟雯 .

中国专利 :CN120221501A ,2025-06-27

[8]

半导体设备的腔体调度方法、装置及可读存储介质 [P].

刘欣欣 ;

何瑜 ;

黄煜 ;

张慧婷 ;

程杰 ;

张峰 .

中国专利 :CN118053794A ,2024-05-17

[9]

半导体生产物料搬运调度方法、装置、设备及可读存储介质 [P].

肖俊河 ;

刘斌 ;

李杰 ;

郭宇翔 ;

傅慧初 .

中国专利 :CN120993833A ,2025-11-21

[10]

识别方法、识别装置、半导体处理设备及可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

佟异 ;

肖遥 ;

张嵩 .

中国专利 :CN113421239B ,2024-09-10

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