半导体设备的腔体调度方法、装置及可读存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410231856.3

申请日：

2024-02-29

公开(公告)号：

CN118053794A

公开(公告)日：

2024-05-17

发明(设计)人：

刘欣欣何瑜黄煜张慧婷程杰张峰

申请人：

上海华力微电子有限公司

申请人地址：

201314 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

G06F17/10

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

卢云芊

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-17	公开	公开
2024-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240229

共 50 条

[1]

半导体设备调度方法、装置、设备及存储介质 [P].

周利红 ;

傅慧初 ;

宋泰然 ;

李倓 ;

安书墨 ;

张羽霏 .

中国专利 :CN120256074A ,2025-07-04

[2]

半导体的生产调度方法、装置、设备及存储介质 [P].

陈保安 ;

李琛 ;

李立人 ;

田畔 ;

孙红霞 .

中国专利 :CN120235440A ,2025-07-01

[3]

生产调度方法及装置、半导体处理设备、存储介质 [P].

纪红 ;

史小平 ;

兰云峰 ;

雷花 ;

赵雷超 ;

秦海丰 ;

张文强 .

中国专利 :CN110895733B ,2020-03-20

[4]

半导体清洗设备调度方法、系统、装置及存储介质 [P].

朱东和 ;

李杰 ;

刘斌 ;

郭宇翔 ;

傅慧初 ;

扶庆 .

中国专利 :CN114864456A ,2022-08-05

[5]

晶片调度方法及装置、半导体处理设备、存储介质 [P].

梁小祎 .

中国专利 :CN111952211A ,2020-11-17

[6]

半导体设备的温控方法、装置、设备及存储介质 [P].

刘颂 ;

杨学迪 ;

刘岩山 .

中国专利 :CN119645161A ,2025-03-18

[7]

半导体设备的温控方法、装置、设备及存储介质 [P].

刘颂 ;

杨学迪 ;

刘岩山 .

中国专利 :CN119645161B ,2025-05-27

[8]

调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质 [P].

李杰 ;

张璐 ;

雷林飞 ;

杨光 .

中国专利 :CN119987295A ,2025-05-13

[9]

半导体生产物料搬运调度方法、装置、设备及可读存储介质 [P].

肖俊河 ;

刘斌 ;

李杰 ;

郭宇翔 ;

傅慧初 .

中国专利 :CN120993833A ,2025-11-21

[10]

调度方法、装置、半导体工艺设备及计算机可读存储介质 [P].

李杰 ;

张璐 ;

雷林飞 ;

杨光 .

中国专利 :CN120033104B ,2025-12-12

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