一种MEMS触觉传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010501458.0

申请日：

2020-06-04

公开(公告)号：

CN111661815A

公开(公告)日：

2020-09-15

发明(设计)人：

刘桂芝何云王冬峰

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区环湖西二路888号C楼

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81B702 B81C100 G01L100 G01L124

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

刘星

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20200604
2021-01-19	授权	授权
2020-09-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法 [P].

何云 ;

刘桂芝 .

中国专利 :CN111732068B ,2020-10-02

[2]

一种触觉传感器及其制作方法 [P].

黄立 ;

刘建军 ;

汪超 ;

蒋文杰 ;

毛添华 ;

陈绪文 ;

王春水 .

中国专利 :CN119666035A ,2025-03-21

[3]

一种触觉传感器及其制作方法 [P].

马炳和 ;

苑伟政 ;

王艳 .

中国专利 :CN100436306C ,2007-05-23

[4]

一种柔性触觉传感器及其制作方法 [P].

黄立 ;

刘建军 ;

汪超 ;

蒋文杰 ;

毛添华 ;

陈绪文 ;

王春水 .

中国专利 :CN120668283A ,2025-09-19

[5]

一种柔性触觉传感器及其制作方法 [P].

李明雨 ;

方毅 ;

彭飞 ;

祝温泊 .

中国专利 :CN112816111A ,2021-05-18

[6]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 ;

魏晓莉 ;

蔡喜元 ;

贾蔓谷 ;

丁铮 .

中国专利 :CN117029908B ,2024-11-26

[7]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883B ,2025-02-25

[8]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883A ,2021-05-07

[9]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

张春伟 ;

曹兴龙 .

中国专利 :CN117699736A ,2024-03-15

[10]

一种MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器 [P].

端木鲁玉 ;

田峻瑜 ;

闫文明 .

中国专利 :CN114132889A ,2022-03-04

← 1 2 3 4 5 →