一种无氢类金刚石薄膜及其制备方法与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811113026.1

申请日：

2018-09-21

公开(公告)号：

CN109136843A

公开(公告)日：

2019-01-04

发明(设计)人：

郭朝乾林松盛高迪代明江石倩韦春贝李洪苏一凡唐鹏朱霞高

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市天河区长兴路363号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1416 C23C1418 C23C1435

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

齐云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-16	授权	授权
2019-01-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20180921
2019-01-04	公开	公开
2021-01-08	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/06 变更事项:专利权人变更前:广东省新材料研究所变更后:广东省科学院新材料研究所变更事项:地址变更前:510000 广东省广州市天河区长兴路363号变更后:510000 广东省广州市天河区长兴路363号

共 50 条

[1]

钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用 [P].

江晓红 ;

肖金涛 ;

何纯 .

中国专利 :CN109423605A ,2019-03-05

[2]

一种超厚无氢类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

方海 ;

严春银 ;

翁佑发 .

中国专利 :CN110872684A ,2020-03-10

[3]

一种超厚无氢类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

张林 ;

张朝奎 ;

王明磊 .

中国专利 :CN108411258A ,2018-08-17

[4]

一种超厚无氢类金刚石薄膜 [P].

张林 ;

张朝奎 ;

王明磊 .

中国专利 :CN208218947U ,2018-12-11

[5]

掺硅无氢类金刚石薄膜的镀制方法 [P].

赵栋才 ;

任妮 ;

马占吉 ;

肖更竭 ;

武生虎 .

中国专利 :CN101109064A ,2008-01-23

[6]

类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

甄洪宾 .

中国专利 :CN102658684B ,2012-09-12

[7]

类金刚石薄膜制备方法 [P].

庄严 .

中国专利 :CN101319324A ,2008-12-10

[8]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[9]

一种金属掺杂无氢类金刚石碳膜的制备方法 [P].

岳文 ;

王松 ;

付志强 ;

王成彪 ;

于翔 ;

彭志坚 ;

庞天舒 .

中国专利 :CN102965618A ,2013-03-13

[10]

类金刚石薄膜及制备方法 [P].

胡琅 ;

徐平 ;

侯立涛 ;

冯杰 ;

胡强 ;

吴猛 .

中国专利 :CN113529031A ,2021-10-22

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