用于沉积第13族金属或类金属氮化物膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610592097.9

申请日：

2016-07-25

公开(公告)号：

CN106367730A

公开(公告)日：

2017-02-01

发明(设计)人：

雷新建金武性 S·V·伊万诺夫

申请人：

申请人地址：

美国宾夕法尼亚州

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455 C23C1650

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

吴亦华;徐志明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-01	公开	公开
2017-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101705805574 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2016105920979 申请日:20160725
2020-06-02	授权	授权
2017-06-16	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101753778125 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2016105920979 登记生效日:20170527 变更事项:申请人变更前权利人:气体产品与化学公司变更后权利人:弗萨姆材料美国有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:美国宾夕法尼亚州变更后权利人:美国亚利桑那州

共 50 条

[1]

用于沉积IIIA族金属氮化物膜的方法 [P].

G·瑞滕伯格 .

:CN120077159A ,2025-05-30

[2]

生长第（Ⅲ）族金属氮化物薄膜的方法和装置、以及第（Ⅲ）族金属氮化物薄膜 [P].

K·S·A·布彻 ;

M－P·F·温特伯特埃普富凯 ;

P·P－T·陈 ;

J·L·P·坦恩哈韦 ;

D·I·约翰逊 .

中国专利 :CN101124353A ,2008-02-13

[3]

膜沉积第Ⅲ族氮化物如氮化镓的方法 [P].

长田贵弘 ;

知京丰裕 ;

上原刚 .

中国专利 :CN100589229C ,2008-07-30

[4]

用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

A·马力卡琼南 ;

A·M·丹格菲尔德 ;

L·F·佩纳 ;

Y·J·查巴尔 .

中国专利 :CN108474114A ,2018-08-31

[5]

用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

A·马力卡琼南 ;

A·M·丹格菲尔德 ;

L·F·佩纳 ;

Y·J·查巴尔 .

美国专利 :CN117904602A ,2024-04-19

[6]

第13族氮化物晶体的制造方法和第13族氮化物晶体 [P].

林昌弘 ;

佐藤隆 ;

三好直哉 ;

和田纯一 ;

皿山正二 .

中国专利 :CN106103817A ,2016-11-09

[7]

第13族氮化物晶体和第13族氮化物晶体基板 [P].

林昌弘 ;

皿山正二 ;

佐藤隆 ;

木村千春 ;

三好直哉 ;

村上明繁 ;

和田纯一 .

中国专利 :CN106319617A ,2017-01-11

[8]

第13族氮化物晶体和第13族氮化物晶体基板 [P].

林昌弘 ;

皿山正二 ;

佐藤隆 ;

木村千春 ;

三好直哉 ;

村上明繁 ;

和田纯一 .

中国专利 :CN103320864A ,2013-09-25

[9]

用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法和所得的膜 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

李建恒 .

中国专利 :CN108026637A ,2018-05-11

[10]

用于沉积金属氮化物的方法及装置 [P].

朱明伟 ;

杨子浩 ;

奈格·B·帕蒂班德拉 ;

卢多维克·戈代 ;

曹勇 ;

丹尼尔·李·迪尔 ;

陈哲擘 .

中国专利 :CN113614275A ,2021-11-05

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