用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680067074.4

申请日：

2016-10-06

公开(公告)号：

CN108474114A

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

雷新建金武性 A·马力卡琼南 A·M·丹格菲尔德 L·F·佩纳 Y·J·查巴尔

申请人：

申请人地址：

美国亚利桑那州

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455 C23C1630

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

吴亦华;徐志明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-31	公开	公开
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20161006

共 50 条

[1]

用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

A·马力卡琼南 ;

A·M·丹格菲尔德 ;

L·F·佩纳 ;

Y·J·查巴尔 .

美国专利 :CN117904602A ,2024-04-19

[2]

用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法和所得的膜 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

李建恒 .

中国专利 :CN108026637A ,2018-05-11

[3]

氮化硅膜的沉积方法 [P].

H·钱德拉 ;

A·马利卡朱南 ;

雷新建 ;

金武性 ;

K·S·卡瑟尔 ;

M·L·奥尼尔 .

中国专利 :CN104831254B ,2015-08-12

[4]

用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

萧满超 .

中国专利 :CN113403604A ,2021-09-17

[5]

用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

萧满超 .

中国专利 :CN107923040A ,2018-04-17

[6]

用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

萧满超 .

美国专利 :CN113403604B ,2024-06-14

[7]

用于沉积第13族金属或类金属氮化物膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

S·V·伊万诺夫 .

中国专利 :CN106367730A ,2017-02-01

[8]

沉积氮化硅膜的方法 [P].

詹姆斯·S·思姆斯 ;

谢恩·唐 ;

维克兰特·莱 ;

安德鲁·麦克罗 ;

邱华檀 .

美国专利 :CN112930581B ,2025-04-15

[9]

沉积氮化硅膜的方法 [P].

詹姆斯·S·思姆斯 ;

谢恩·唐 ;

维克兰特·莱 ;

安德鲁·麦克罗 ;

邱华檀 .

中国专利 :CN112930581A ,2021-06-08

[10]

保形及选择性的氮化硅沉积 [P].

沈泽清 ;

S·高希 ;

S·S·罗伊 ;

A·B·玛里克 ;

N·K·英格尔 .

美国专利 :CN120882901A ,2025-10-31

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