氮化硅膜的沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410857912.0

申请日：

2014-10-08

公开(公告)号：

CN104831254B

公开(公告)日：

2015-08-12

发明(设计)人：

H·钱德拉 A·马利卡朱南雷新建金武性 K·S·卡瑟尔 M·L·奥尼尔

申请人：

申请人地址：

美国亚利桑那州

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

吴亦华;徐志明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101624667118 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2014108579120 申请日:20141008
2017-06-23	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754189943 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2014108579120 登记生效日:20170606 变更事项:申请人变更前权利人:气体产品与化学公司变更后权利人:弗萨姆材料美国有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:美国宾夕法尼亚州变更后权利人:美国亚利桑那州
2015-08-12	公开	公开
2019-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

萧满超 .

中国专利 :CN113403604A ,2021-09-17

[2]

用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

萧满超 .

中国专利 :CN107923040A ,2018-04-17

[3]

用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

萧满超 .

美国专利 :CN113403604B ,2024-06-14

[4]

用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

A·马力卡琼南 ;

A·M·丹格菲尔德 ;

L·F·佩纳 ;

Y·J·查巴尔 .

中国专利 :CN108474114A ,2018-08-31

[5]

用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

A·马力卡琼南 ;

A·M·丹格菲尔德 ;

L·F·佩纳 ;

Y·J·查巴尔 .

美国专利 :CN117904602A ,2024-04-19

[6]

沉积氮化硅膜的方法 [P].

詹姆斯·S·思姆斯 ;

谢恩·唐 ;

维克兰特·莱 ;

安德鲁·麦克罗 ;

邱华檀 .

美国专利 :CN112930581B ,2025-04-15

[7]

沉积氮化硅膜的方法 [P].

詹姆斯·S·思姆斯 ;

谢恩·唐 ;

维克兰特·莱 ;

安德鲁·麦克罗 ;

邱华檀 .

中国专利 :CN112930581A ,2021-06-08

[8]

沉积氮化硅的方法 [P].

L·C·卡鲁塔拉格 ;

M·J·萨利 ;

P·P·杰哈 ;

梁璟梅 .

中国专利 :CN113330141A ,2021-08-31

[9]

用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法和所得的膜 [P].

雷新建 ;

金武性 ;

李建恒 .

中国专利 :CN108026637A ,2018-05-11

[10]

氮化硅膜沉积设备 [P].

解占壹 ;

刘海金 ;

刘伟 .

中国专利 :CN202830165U ,2013-03-27

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