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用于沉积氮化硅膜的组合物和方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110661732.5
申请日：
2016-07-28
公开(公告)号：
CN113403604B
公开(公告)日：
2024-06-14
发明(设计)人：
雷新建 金武性 萧满超
申请人：
弗萨姆材料美国有限责任公司
申请人地址：
美国亚利桑那州
IPC主分类号：
C23C16/34
IPC分类号：
C23C16/455 C23C16/515 C23C16/02
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
吴亦华;徐一琨
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-06-14 授权 授权
共 50 条
[1]
用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
萧满超 .
中国专利 :CN113403604A ,2021-09-17
[2]
用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
萧满超 .
中国专利 :CN107923040A ,2018-04-17
[3]
氮化硅膜的沉积方法 [P]. 
H·钱德拉 ;
A·马利卡朱南 ;
雷新建 ;
金武性 ;
K·S·卡瑟尔 ;
M·L·奥尼尔 .
中国专利 :CN104831254B ,2015-08-12
[4]
用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法和所得的膜 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
李建恒 .
中国专利 :CN108026637A ,2018-05-11
[5]
沉积氮化硅膜的方法 [P]. 
詹姆斯·S·思姆斯 ;
谢恩·唐 ;
维克兰特·莱 ;
安德鲁·麦克罗 ;
邱华檀 .
美国专利 :CN112930581B ,2025-04-15
[6]
沉积氮化硅膜的方法 [P]. 
詹姆斯·S·思姆斯 ;
谢恩·唐 ;
维克兰特·莱 ;
安德鲁·麦克罗 ;
邱华檀 .
中国专利 :CN112930581A ,2021-06-08
[7]
用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
A·马力卡琼南 ;
A·M·丹格菲尔德 ;
L·F·佩纳 ;
Y·J·查巴尔 .
中国专利 :CN108474114A ,2018-08-31
[8]
用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法 [P]. 
雷新建 ;
金武性 ;
A·马力卡琼南 ;
A·M·丹格菲尔德 ;
L·F·佩纳 ;
Y·J·查巴尔 .
美国专利 :CN117904602A ,2024-04-19
[9]
氮化硅膜沉积设备和沉积方法 [P]. 
解占壹 ;
刘海金 ;
刘伟 .
中国专利 :CN102817011B ,2012-12-12
[10]
用化学蒸气沉积技术沉积氮化硅膜和氧氮化硅膜的方法 [P]. 
C·迪萨拉 ;
J－M·吉拉尔 .
中国专利 :CN1596324A ,2005-03-16
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