一种氮化硅陶瓷基片多方向研磨抛光机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202023143809.X
申请日
2020-12-24
公开(公告)号
CN213917709U
公开(公告)日
2021-08-10
发明(设计)人
陈猛
申请人
申请人地址
333400 江西省景德镇市浮梁大道3号
IPC主分类号
B24B3700
IPC分类号
B24B3727 B24B4102 B24B4722 B24B4704
代理机构
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427
代理人
陈娟
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
一种氮化硅陶瓷生产用微孔研磨抛光机 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
氧化铍陶瓷基片研磨抛光机 [P]. 
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陈光明 ;
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[7]
一种新型陶瓷基片研磨抛光机 [P]. 
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[8]
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[9]
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[10]
一种氮化硅陶瓷基片的制备方法 [P]. 
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张卓 ;
贾德昌 ;
杨治华 ;
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中国专利 :CN112573936B ,2021-03-30