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微机调控激光干涉仪
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN02104819.3
申请日：
2002-01-29
公开(公告)号：
CN1258670C
公开(公告)日：
2003-08-13
发明(设计)人：
罗至善
申请人：
申请人地址：
300072天津市南开区天津大学四季村29－5－401
IPC主分类号：
G01B902
IPC分类号：
G01N2145
G01N300
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2004-09-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2010-03-31 | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) |
| 2003-08-13 | 公开 | 公开 |
| 2006-06-07 | 授权 | 授权 |