光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911259313.8

申请日：

2019-12-10

公开(公告)号：

CN111060516A

公开(公告)日：

2020-04-24

发明(设计)人：

张霖许乔石振东陈坚马骅马可白金玺李杰柴立群赵建华黄明

申请人：

申请人地址：

621900 四川省绵阳市绵山路64号

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N2164 G01N2520

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-08	授权	授权
2020-05-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20191210
2020-04-24	公开	公开

共 50 条

[1]

光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P].

李亚国 ;

雷向阳 ;

郑楠 ;

邓燕 ;

谢瑞清 ;

陈贤华 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN201697882U ,2011-01-05

[2]

光学元件亚表面缺陷的检测装置及其方法 [P].

李亚国 ;

雷向阳 ;

郑楠 ;

邓燕 ;

谢瑞清 ;

陈贤华 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN101819163A ,2010-09-01

[3]

大口径光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P].

邓燕 ;

许乔 ;

柴立群 ;

石琦凯 .

中国专利 :CN201589753U ,2010-09-22

[4]

一种光学元件亚表面缺陷深度信息的检测装置及检测方法 [P].

田爱玲 ;

邱啸天 ;

张英鸽 ;

王红军 ;

王春阳 ;

刘雪莲 ;

刘丙才 ;

朱学亮 .

中国专利 :CN110686614A ,2020-01-14

[5]

快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置及检测方法 [P].

刘红婕 ;

王凤蕊 ;

耿峰 ;

叶鑫 ;

黄进 ;

孙来喜 ;

黎维华 ;

罗青 ;

李青芝 .

中国专利 :CN106770128A ,2017-05-31

[6]

光学元件亚表面缺陷数字全息检测装置 [P].

于瀛洁 ;

伍小燕 ;

涂桥 ;

王驰 .

中国专利 :CN102519976A ,2012-06-27

[7]

光学元件表面形貌及亚表面缺陷信息的检测方法及其装置 [P].

王红军 ;

吴琳 ;

田爱玲 ;

刘卫国 ;

王大森 ;

朱学亮 ;

刘丙才 .

中国专利 :CN109916909A ,2019-06-21

[8]

一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置和检测方法 [P].

周晓燕 ;

刘红婕 ;

黄进 ;

王凤蕊 ;

刘东 ;

孙焕宇 ;

王狮凌 ;

杨李茗 ;

黎维华 .

中国专利 :CN111208064A ,2020-05-29

[9]

一种光学元件亚表面缺陷检测方法及检测系统 [P].

刘勇 .

中国专利 :CN104568982B ,2015-04-29

[10]

光学元件内部缺陷的检测方法及装置 [P].

徐建程 ;

王辉 ;

李勇 ;

范长江 .

中国专利 :CN102288622A ,2011-12-21

← 1 2 3 4 5 →