一种应用于垂直温度梯度法或垂直布里奇曼法生长砷化镓单晶生长的原料腐蚀设备系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910260042.8

申请日：

2009-12-23

公开(公告)号：

CN102108541A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

屠海令苏小平张峰燚王思爱杨海王铁艳黎建明

申请人：

申请人地址：

100088 北京市新街口外大街2号

IPC主分类号：

C30B1100

IPC分类号：

C30B2942 C30B3500

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100

代理人：

郭佩兰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-29	公开	公开
2013-05-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101582203717 IPC(主分类):C30B 11/00 专利申请号:2009102600428 申请公布日:20110629
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096111439 IPC(主分类):C30B 11/00 专利申请号:2009102600428 申请日:20091223

共 37 条

[1]

一种应用于垂直温度梯度法或垂直布里奇曼法生长砷化镓单晶生长的原料腐蚀设备系统 [P].

屠海令 ;

苏小平 ;

张峰燚 ;

王思爱 ;

杨海 ;

王铁艳 ;

黎建明 .

中国专利 :CN201567385U ,2010-09-01

[2]

垂直布里奇曼法生长氧化镓单晶的装置和方法 [P].

徐永宽 ;

赵琪 ;

马文成 ;

齐小方 ;

胡章贵 .

中国专利 :CN120537024A ,2025-08-26

[3]

垂直布里奇曼法生长氧化镓的装置及方法 [P].

夏宁 ;

沈典宇 ;

王芸霞 .

中国专利 :CN118814252A ,2024-10-22

[4]

一种垂直布里奇曼法生长氧化镓单晶的缩颈工艺及坩埚 [P].

孟标 ;

严钰婕 ;

张召富 ;

殷长帅 .

中国专利 :CN119640404A ,2025-03-18

[5]

垂直布里奇曼法生长氧化镓晶体的装置及氧化镓晶体的生长方法 [P].

黄东阳 ;

朱晓波 ;

陶德强 ;

齐红基 .

中国专利 :CN119753809A ,2025-04-04

[6]

一种新型布里奇曼法氧化镓单晶生长用坩埚及生长方法 [P].

周惠琴 ;

朱灿 ;

党一帆 ;

朱永海 ;

陈鹏磊 ;

刘鹏飞 ;

赵树春 .

中国专利 :CN120591880A ,2025-09-05

[7]

垂直布里奇曼法生长Ⅱ-Ⅵ族化合物晶体的装置及方法 [P].

刘克岳 .

中国专利 :CN118147733A ,2024-06-07

[8]

氧化镓晶体的温区位移布里奇曼法单晶生长装置与方法 [P].

穆文祥 ;

陶绪堂 .

中国专利 :CN118756312A ,2024-10-11

[9]

垂直布里奇曼法多元化合物晶体生长系统及其使用方法 [P].

袁泽锐 ;

黄辉 ;

康彬 ;

邓建国 ;

张羽 ;

唐明静 ;

窦云巍 ;

方攀 ;

敬畏 .

中国专利 :CN103603033A ,2014-02-26

[10]

一种布里奇曼法晶体生长炉的节能炉膛 [P].

罗毅 ;

龚瑞 ;

王玉 ;

刘照俊 .

中国专利 :CN221166843U ,2024-06-18

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