基板装载及卸载系统和装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201720868542.X
申请日
2017-07-18
公开(公告)号
CN207158319U
公开(公告)日
2018-03-30
发明(设计)人
潘正哲
申请人
申请人地址
中国台湾台南市新市区丰华里堤塘港路5号
IPC主分类号
B65G4906
IPC分类号
代理机构
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245
代理人
徐东升;赵蓉民
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
基板装载/卸载系统和装置 [P]. 
潘正哲 .
中国专利 :CN109264402A ,2019-01-25
[2]
装载和卸载系统 [P]. 
K-G.罗特 ;
J.林特纳 .
中国专利 :CN107427980B ,2017-12-01
[3]
产品部件装载和卸载系统 [P]. 
谢逢春 ;
雅罗斯瓦夫·科瓦尔斯基 ;
安德烈·普日比斯基 ;
张丹丹 ;
胡绿海 ;
邓颖聪 ;
曹健 ;
王长军 ;
鲁异 ;
吴海东 ;
肖辉 .
中国专利 :CN208614777U ,2019-03-19
[4]
装载和卸载系统和方法 [P]. 
D.C.科赫兰 ;
R.D.索蒂尔 ;
J.朝 ;
S.兰吉尔 ;
A.卡尔豪斯 ;
S.G.帕特尔 ;
A.M.武奥里宁 .
中国专利 :CN113844846A ,2021-12-28
[5]
基板卸载装置 [P]. 
杨明生 ;
郭业祥 ;
刘惠森 ;
范继良 ;
王曼媛 ;
王勇 .
中国专利 :CN201915141U ,2011-08-03
[6]
基板承载装置及基板装载系统 [P]. 
曾元民 .
中国专利 :CN210429756U ,2020-04-28
[7]
基板卸载装置及卸载方法 [P]. 
杨明生 ;
郭业祥 ;
刘惠森 ;
范继良 ;
王曼媛 ;
王勇 .
中国专利 :CN101988191B ,2011-03-23
[8]
物品支撑装置和物品装载和卸载系统 [P]. 
邓颖聪 ;
倪明 ;
杨磊 ;
许东 ;
张丹丹 ;
谢逢春 ;
杜华宾 ;
鲁异 ;
翁明阳 ;
陈歌 .
中国专利 :CN112793967A ,2021-05-14
[9]
用于装载及卸载基板的负载锁定腔室和直列基板处理系统 [P]. 
弗兰克·施纳朋伯杰 .
中国专利 :CN208240622U ,2018-12-14
[10]
基板的卸载装置及卸载方法 [P]. 
边圣埈 ;
安钟范 ;
崔成奎 .
中国专利 :CN1166543C ,2000-06-21