等离子体速度测量方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610303629.2

申请日：

2016-05-10

公开(公告)号：

CN106018878B

公开(公告)日：

2016-10-12

发明(设计)人：

杨雄王墨戈程谋森

申请人：

申请人地址：

410073 湖南省长沙市开福区德雅路109号

IPC主分类号：

G01P526

IPC分类号：

G01N2164

代理机构：

长沙智嵘专利代理事务所 43211

代理人：

胡亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	公开	公开
2017-05-10	授权	授权
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101687280485 IPC(主分类):G01P 5/26 专利申请号:2016103036292 申请日:20160510

共 50 条

[1]

等离子体密度分布测量方法、系统及装置 [P].

杨州军 ;

喻泽志 ;

玄子健 ;

雷驰 ;

郭妍 ;

朱思羽 .

中国专利 :CN118591069A ,2024-09-03

[2]

定向等离子体束离子平均速度的相关测量方法 [P].

宁中喜 ;

于达仁 ;

李鸿 ;

刘辉 ;

丁永杰 .

中国专利 :CN101221245A ,2008-07-16

[3]

一种等离子体风洞的等离子体参数测量方法 [P].

白冰 ;

丁亮 ;

韩潇 ;

张磊 ;

赵华 ;

李涛 ;

彭毓川 ;

顾志飞 ;

李高 ;

吴达 .

中国专利 :CN112135408A ,2020-12-25

[4]

F密度测量方法、等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

本田昌伸 .

中国专利 :CN1828274A ,2006-09-06

[5]

等离子体处理装置及硅片温度测量方法 [P].

吴磊 ;

涂乐义 ;

黄国民 .

中国专利 :CN108010838B ,2018-05-08

[6]

等离子体粒子和振荡传播速度测量装置及其测量方法 [P].

张广川 ;

孙宇哲 ;

王伟宗 ;

汤海滨 ;

李亦非 .

中国专利 :CN120751565A ,2025-10-03

[7]

等离子体相位分布的测量方法、测量装置 [P].

李欣焱 ;

袁鹏 ;

郑坚 .

中国专利 :CN116997067B ,2024-01-05

[8]

等离子体处理装置和温度测量方法 [P].

山田和人 ;

田面木真也 .

日本专利 :CN119744437A ,2025-04-01

[9]

电弧等离子体发生器弧根旋转速度测量装置及测量方法 [P].

曾徽 ;

欧东斌 ;

文鹏 ;

杨国铭 ;

朱兴营 .

中国专利 :CN114236168A ,2022-03-25

[10]

激光等离子体参数的测量装置及其测量方法 [P].

邓建 ;

徐至展 ;

张正泉 ;

胡雪原 ;

钟方川 ;

覃岭 .

中国专利 :CN1079159C ,2000-07-19

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