化学机械平坦化系统以及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910700100.8

申请日：

2019-07-31

公开(公告)号：

CN110774164A

公开(公告)日：

2020-02-11

发明(设计)人：

赵誉翔雷启彬

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

B24B37005

IPC分类号：

B24B3734 B24B3727 H01L2167

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

黄艳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-15	授权	授权
2020-03-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/005 申请日:20190731
2020-02-11	公开	公开

共 50 条

[1]

化学机械平坦化系统 [P].

陈世忠 ;

林奕劭 ;

彭升泰 ;

薛雅仁 ;

陈鸿霖 ;

李仁铎 .

中国专利 :CN111230731A ,2020-06-05

[2]

化学机械平坦化系统以及垫修整轮 [P].

黄君席 .

中国专利 :CN110524413A ,2019-12-03

[3]

化学机械平坦化的系统及方法 [P].

许峻维 .

中国专利 :CN114695104A ,2022-07-01

[4]

化学机械平坦化的方法 [P].

粘博钦 ;

黄罡 ;

洪伟伦 .

中国专利 :CN111952163A ,2020-11-17

[5]

化学机械平坦化设备 [P].

张庭熏 ;

颜宏 ;

沈稘翔 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张宗宪 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN113134783A ,2021-07-20

[6]

化学机械研磨浆液与化学机械平坦化方法 [P].

侯惠芳 ;

刘文政 ;

陈彦良 ;

陈瑞清 .

中国专利 :CN101220255B ,2008-07-16

[7]

化学机械平坦化系统和方法以及研磨晶圆的方法 [P].

黄君席 .

中国专利 :CN110653717B ,2020-01-07

[8]

一种化学机械平坦化方法及化学机械平坦化装置 [P].

赵光远 ;

何艳红 ;

何家鑫 ;

罗付 .

中国专利 :CN119635520A ,2025-03-18

[9]

化学机械平坦化工具和形成化学机械平坦化膜的方法 [P].

陈政炳 ;

李仁铎 ;

彭升泰 ;

赖宗龙 ;

谢子逸 ;

张建玮 .

中国专利 :CN109623630B ,2019-04-16

[10]

用于控制化学机械平坦化的系统及方法 [P].

许峻维 .

中国专利 :CN114633201A ,2022-06-17

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