一种真空湿法刻蚀装置

被引：0

申请号：

CN202123152955.3

申请日：

2021-12-14

公开(公告)号：

CN216528773U

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

王燕东曾周芳

申请人：

申请人地址：

213125 江苏省常州市新北区梅山路3号科技转化楼405室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

南京常青藤知识产权代理有限公司 32286

代理人：

袁夫文

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种湿法刻蚀装置 [P].

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN204885200U ,2015-12-16

[2]

湿法刻蚀装置 [P].

张田超 .

中国专利 :CN104409397B ,2015-03-11

[3]

湿法刻蚀装置 [P].

陈毅 ;

章伟冠 ;

杨小宇 ;

赵相伟 .

中国专利 :CN223347741U ,2025-09-16

[4]

一种RENA湿法刻蚀装置 [P].

周华军 ;

谢贤清 .

中国专利 :CN206451690U ,2017-08-29

[5]

一种刻蚀槽装置及湿法刻蚀设备 [P].

陈大鹏 ;

冉晓芳 ;

邬小可 ;

马律成 ;

王森 ;

王一川 .

中国专利 :CN218371759U ,2023-01-24

[6]

湿法刻蚀装置及其刻蚀方法 [P].

常建宇 .

中国专利 :CN104091775A ,2014-10-08

[7]

湿法刻蚀装置及其刻蚀方法 [P].

邓镭 .

中国专利 :CN102945802A ,2013-02-27

[8]

一种湿法刻蚀机刻蚀装置 [P].

胡伟 ;

叶成枝 ;

肖冠华 ;

杨子衡 ;

吴代吾 ;

侯智 .

中国专利 :CN203782235U ,2014-08-20

[9]

一种湿法刻蚀排气系统及湿法刻蚀装置 [P].

李明晖 ;

杨晓峰 ;

吕耀军 ;

张超 ;

王彬 ;

李桂 .

中国专利 :CN106876304A ,2017-06-20

[10]

一种湿法刻蚀方法 [P].

黎剑骑 ;

孙涌涛 ;

徐乐 .

中国专利 :CN109473505A ,2019-03-15

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