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一种真空溅镀用输送装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120496891.X
申请日：
2021-03-09
公开(公告)号：
CN215665857U
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
姜建峰
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市昆山开发区高科技工业园都市路21号
IPC主分类号：
B65G4791
IPC分类号：
代理机构：
上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374
代理人：
汪发成
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 授权 | 授权 |