一种新型真空溅镀用整体工装板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120092099.4

申请日：

2011-03-31

公开(公告)号：

CN202039125U

公开(公告)日：

2011-11-16

发明(设计)人：

刘辛

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区浒墅关镇嵩山路128号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-16	授权	授权
2014-05-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101582362479 IPC(主分类):C23C 14/56 专利号:ZL2011200920994 申请日:20110331 授权公告日:20111116 终止日期:20130331

共 50 条

[1]

一种新型真空溅镀用整体工装台车 [P].

霍凯 ;

陈宥廷 ;

李玉 ;

徐全献 .

中国专利 :CN203960325U ,2014-11-26

[2]

真空溅镀用新型防着板 [P].

吴树宇 ;

吴定翔 .

中国专利 :CN208414535U ,2019-01-22

[3]

一种真空溅镀用新型防着板 [P].

李婷 .

中国专利 :CN218404376U ,2023-01-31

[4]

一种用于真空溅镀的溅镀靶 [P].

郑志铭 .

中国专利 :CN202705455U ,2013-01-30

[5]

一种真空溅镀用输送装置 [P].

姜建峰 .

中国专利 :CN215665857U ,2022-01-28

[6]

一种真空溅镀治具 [P].

李苏祥 ;

余生龙 .

中国专利 :CN212476869U ,2021-02-05

[7]

一种真空溅镀装置 [P].

余泽军 .

中国专利 :CN109055903A ,2018-12-21

[8]

一种分体式防着板及真空溅镀设备 [P].

王正云 ;

刘贺威 .

中国专利 :CN212770926U ,2021-03-23

[9]

一种用于真空溅镀的靶材 [P].

郑志铭 .

中国专利 :CN202705457U ,2013-01-30

[10]

一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构 [P].

蔡水河 .

中国专利 :CN210480318U ,2020-05-08

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