一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201920845296.5
申请日
2019-06-06
公开(公告)号
CN210480318U
公开(公告)日
2020-05-08
发明(设计)人
蔡水河
申请人
申请人地址
213100 江苏省常州市武进区东方东路51-1号
IPC主分类号
B65H1810
IPC分类号
B65H1926
代理机构
北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367
代理人
蒋路帆
法律状态
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
带表面活化的连续真空溅镀装置 [P]. 
戴明光 .
中国专利 :CN202181343U ,2012-04-04
[2]
一种用于真空溅镀的溅镀靶 [P]. 
郑志铭 .
中国专利 :CN202705455U ,2013-01-30
[3]
一种真空溅镀用输送装置 [P]. 
姜建峰 .
中国专利 :CN215665857U ,2022-01-28
[4]
一种真空不连续溅镀工艺 [P]. 
徐耀 .
中国专利 :CN104593736A ,2015-05-06
[5]
一种真空不连续溅镀方法 [P]. 
徐耀 .
中国专利 :CN104593741A ,2015-05-06
[6]
一种真空溅镀用新型防着板 [P]. 
李婷 .
中国专利 :CN218404376U ,2023-01-31
[7]
一种真空溅镀治具 [P]. 
李苏祥 ;
余生龙 .
中国专利 :CN212476869U ,2021-02-05
[8]
一种新型真空溅镀用整体工装台车 [P]. 
霍凯 ;
陈宥廷 ;
李玉 ;
徐全献 .
中国专利 :CN203960325U ,2014-11-26
[9]
一种新型真空溅镀用整体工装板 [P]. 
刘辛 .
中国专利 :CN202039125U ,2011-11-16
[10]
一种真空溅镀装置 [P]. 
余泽军 .
中国专利 :CN109055903A ,2018-12-21