真空溅镀的防着板结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201020598041.2
申请日
2010-11-09
公开(公告)号
CN201962346U
公开(公告)日
2011-09-07
发明(设计)人
姚力军 潘杰 王学泽 陈玉蓉
申请人
申请人地址
315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
骆苏华
法律状态
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
溅镀机的防着板结构 [P]. 
赖翠仙 .
中国专利 :CN201031252Y ,2008-03-05
[2]
溅镀机的防着板结构 [P]. 
刘辛 .
中国专利 :CN201301336Y ,2009-09-02
[3]
真空溅镀用新型防着板 [P]. 
吴树宇 ;
吴定翔 .
中国专利 :CN208414535U ,2019-01-22
[4]
一种改进的溅镀机防着板结构 [P]. 
霍凯 .
中国专利 :CN107604327A ,2018-01-19
[5]
一种真空溅镀用新型防着板 [P]. 
李婷 .
中国专利 :CN218404376U ,2023-01-31
[6]
一种芯片封装工艺真空溅镀的遮蔽板结构 [P]. 
李响 ;
赵世芳 .
中国专利 :CN213624352U ,2021-07-06
[7]
真空溅镀装置 [P]. 
青仓勇 ;
山西齐 ;
大西阳一 ;
池田种次郎 .
中国专利 :CN1109512A ,1995-10-04
[8]
一种真空溅镀机防着板及其制备方法 [P]. 
曾燚 ;
胡韬 .
中国专利 :CN106756834A ,2017-05-31
[9]
真空溅镀系统 [P]. 
郭金柱 ;
郑博仁 ;
黄泳钊 .
中国专利 :CN211227316U ,2020-08-11
[10]
真空溅镀中的遮镀辅助设备的结构 [P]. 
杨雪娇 ;
覃飞祥 ;
吴政道 .
中国专利 :CN2873798Y ,2007-02-28