一种真空溅镀机防着板及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611242850.8

申请日：

2016-12-29

公开(公告)号：

CN106756834A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

曾燚胡韬

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C09D524

代理机构：

北京聿宏知识产权代理有限公司 11372

代理人：

吴大建

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	公开	公开
2020-01-24	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20170531
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729179255 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2016112428508 申请日:20161229

共 50 条

[1]

真空溅镀用新型防着板 [P].

吴树宇 ;

吴定翔 .

中国专利 :CN208414535U ,2019-01-22

[2]

一种真空溅镀用新型防着板 [P].

李婷 .

中国专利 :CN218404376U ,2023-01-31

[3]

真空溅镀的防着板结构 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈玉蓉 .

中国专利 :CN201962346U ,2011-09-07

[4]

一种分体式防着板及真空溅镀设备 [P].

王正云 ;

刘贺威 .

中国专利 :CN212770926U ,2021-03-23

[5]

一种用于真空溅镀的溅镀靶 [P].

郑志铭 .

中国专利 :CN202705455U ,2013-01-30

[6]

一种溅镀机及其溅镀工艺 [P].

林行 ;

葛健国 ;

吕育仁 ;

范小荣 ;

朱育民 ;

庄胜智 .

中国专利 :CN110819947A ,2020-02-21

[7]

一种真空溅镀装置 [P].

余泽军 .

中国专利 :CN109055903A ,2018-12-21

[8]

真空溅镀装置及其使用方法 [P].

张杰 ;

解毅 ;

何雅彬 ;

赵洪涛 ;

王喆 ;

马东 ;

吴奇昆 ;

沈瑜俊 ;

孙亭 .

中国专利 :CN102634766B ,2012-08-15

[9]

一种真空不连续溅镀方法 [P].

徐耀 .

中国专利 :CN104593741A ,2015-05-06

[10]

一种新型真空溅镀用整体工装板 [P].

刘辛 .

中国专利 :CN202039125U ,2011-11-16

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